Mikrofotografie-Mikroskope, optisch, mit Vorrichtungen versehen, die ihrer Beschaffenheit nach zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben "wafers" oder Reticles besonders bestimmt sind (ausg. Stereomikroskope)
Mikroskope, optisch, für die Mikrofotografie, Mikrokinematografie oder Mikroprojektion (ausg. solche mit Vorrichtungen versehen, die ihrer Beschaffenheit nach zum Handhaben und Transportieren von Halbleiterscheiben "wafers" oder Reticles besonders bestimmt sind sowie Stereomikroskope)