Vakuumpumpen (ausg. Pumpen von der hauptsächlich für die Herstellung von Halbleitern oder Flachbildschirmen verwendeten Art sowie Drehschieberpumpen, Sperrschieberpumpen, Molekularpumpen, Wälzkolbenpumpen, Diffusionspumpen, Kryopumpen und Adsorptionspumpen)