Instrumente, Apparate und Geräte, optisch, zum Prüfen von Halbleiterscheiben "wafers" oder Halbleiterbauelementen oder zum Prüfen von Fotomasken und Reticles für die Herstellung von Halbleiterbauelementen
903149Instrumente, Apparate, Geräte und Maschinen zum Messen oder Prüfen, optisch, in Kapitel 90 a.n.g.
Instrumente, Apparate, Geräte und Maschinen zum Messen oder Prüfen, optisch, in Kapitel 90 a.n.g.
903180Instrumente, Apparate, Geräte und Maschinen zum Messen oder Prüfen, in Kapitel 90 a.n.g. (ausg. optische Instrumente, Apparate, Geräte und Maschinen)